随著(zhe)光(guāng)伏行(xíng)業(yè)的(de)欣欣發展，一(yī)些(xiē)問(wèn)題也(yě)逐漸顯露出來(lái)。科(kē)學合理(lǐ<≠•)的(de)處理(lǐ)常見(jiàn)太陽能(néng)電Ω₩♣₽(diàn)池，包括晶體(tǐ)矽、非晶矽、銅铟镓硒、砷©&←化(huà)镓、碲化(huà)镉和(hé)染料敏化(huà)納米晶太陽能(néng)電(diàn£®)池在生(shēng)産過程中産生(shēng)的(de)€$各種可(kě)能(néng)污染物(wù)，如(rú)微(wēi)米/納米顆粒的(de)粉塵和(hé)固體(tǐ)廢棄物(wù)；酸堿廢液、重金(jīn)屬離(lí)子(zǐ)、有(yǒu)機₩£₽(jī)溶劑和(hé)納米粒子(zǐ)的(de)液體(tǐ)産物(wù)；粉塵、煙(yān)氣、納米顆粒和(hé)化(huà)學氣體(tǐ)的(de)尾氣産物(wù '←γ)等，對(duì)維護環境，維持行(xíng)業(yè)的(de)健康發展有¶α≥(yǒu)非常重大(dà)的(de)現(xiàn)實意義。本文(wén)将簡要(yào)探討(tǎε✔π'o)多(duō)晶矽生(shēng)産工(gōng)藝中廢氣處理(lǐ)設備。

（1）含氯空(kōng)氣：主要(yào)來(lái)源是(shì)從(cóng)液氯鋼瓶或✔₽&汽化(huà)系統設備、管線洩漏出來(lái)的(de)氯氣

入廢氣處理(lǐ)塔的(de)含氯空(kα₩±​ōng)氣，在填料層與自(zì)上(shàn✔α→g)而下(xià)的(de)堿液逆流接觸，氯氣與堿液中的(de)NaOH反應生(shēng)成NaClO、NaCl和(hé)H2O而被吸收。因反應放(f→εàng)熱(rè)，塔內(nèi)液體(tǐ)和(hé)氣體(tǐ)的(de)溫度均有(yǒu)↔≤升高(gāo)。用(yòng)事(shì)故風(fēng)機(jī)抽出ε↔塔頂經處理(lǐ)達标的(de)氣體(tǐ)放(fàng)空(kōng)；出塔底的(de)®δ₹↔液體(tǐ)靠位差流入堿液循環槽，再用(yòng)堿液循環泵抽出，經堿液循環冷(lě→★ng)卻器(qì)用(yòng)循環冷(lěngφ∏€≤)卻水(shuǐ)冷(lěng)卻後，送入廢氣處理(lǐ)塔頂用(yòng)作(zuò ✘™)吸收劑。當循環堿液中NaOH濃度降至2%～3%時(shí)，停止使用(yòng)工(gōng)作(zuò)槽中的(de)©×α堿液，切換至堿液循環備用(yòng)泵，将備用(yòng)槽中貯存的(de)濃度為(>α♦wèi)15%的(de)新鮮NaOH溶液送入廢氣處理(lǐ)塔吸收氯氣。在備用(¶€♣yòng)泵、備用(yòng)槽系統作(zuò)吸收‌✔☆♦操作(zuò)期間(jiān)，原工(gōng)作(zuò)泵、工(gōng)作₹σ¶γ(zuò)槽系統需完成以下(xià)工(gōn✔∞g)作(zuò)：用(yòng)泵将槽內(nèi)含10%NaClO的(d≤ ‌ e)液體(tǐ)排至次氯酸鈉溶液貯槽貯存，™✔×然後将配制(zhì)好(hǎo)的(de)NaOH溶液送入槽內(nèi)貯存，以備随後用(yòn<✘£×g)于氯氣的(de)吸收次氯酸鈉溶液貯槽內(nèi)貯存的(de)1☆φ₩​0%NaClO溶液，用(yòng)泵裝車(chē)，作(zuò)為(wèi¶'✔∏)商品外(wài)售。必要(yào)時(shí)，亦可(kě)将其送至工(gōng)∑™≠♥藝廢料處理(lǐ)工(gōng)序處理(lǐ)。15%NaOH溶液的(de)®↔♥配制(zhì)，是(shì)将從(cóng)35%NaOH貯槽送來(lái)的(de)濃堿液放δ"≥β(fàng)入15%堿液配制(zhì)槽內(nè♠λ‌i)。向槽中通(tōng)入一(yī)次水(shuǐ)，将堿液稀釋至所需濃度♠α。事(shì)故風(fēng)機(jī)、廢氣處理☆£§(lǐ)塔、堿液循環系統保持連續運轉。

（2）三氯氫矽合成系統廢氣：

出三氯氫矽合成爐的(de)夾帶有(yǒu)矽粉的(de)汽氣混✔σ$"合氣依次進入一(yī)、二、三級旋風(fēng)除塵器¥σ&&(qì)，氣體(tǐ)中的(de)大(dà)部 "§分(fēn)矽粉被分(fēn)離(lí)♠λ×$下(xià)來(lái)，随即落入安裝于下(xià)方的(de)三εε個(gè)小(xiǎo)集塵罐。定期把矽塵從γ≥σδ(cóng)小(xiǎo)集塵罐中卸到(dào)集塵罐中。定期将罐中矽粉卸出，送去™↔✘(qù)處理(lǐ)。

經“幹法”除塵後的(de)汽氣混合氣進入濕氫處理(lǐ)塔♣λ頂部，與同樣從(cóng)頂部注入的(de)四∏∞¥Ω氯化(huà)矽液體(tǐ)混合，自(zì)上(sh± àng)而下(xià)流動。從(cóng)塔下(xi→±↑≥à)部送入用(yòng)脫鹽水(shuǐ)增濕的(de)&←氫氣，與塔內(nèi)的(de)氣液混合物(wù)接觸， ±促使汽氣混合氣中所含的(de)金(jīn)屬氯化(huà₩ )物(wù)發生(shēng)部分(fēn)水(s β≈huǐ)解，同時(shí)，汽氣混合氣中的(de)部分(fēn)細小(​ xiǎo)矽塵被液體(tǐ)四氯化(huà)矽洗下(Ω≈₽₩xià)，混合氣亦被四氯化(huà)矽冷(lěng)卻。

從(cóng)濕氫處理(lǐ)塔下(xià)部出來(lái)，含固态≤ ​雜(zá)質的(de)汽氣液混合物(wù)進入鼓泡蒸餾釜≈'并被引至液下(xià)。氣體(tǐ)鼓泡溢出，随後由下(xi♠↕¶à)而上(shàng)進入泡塔，與從(cóng)塔頂流下÷♦(xià)的(de)液體(tǐ)四氯化(huà)矽逆流接觸，被進一(yī)步冷(lěng)卻并♥≠最終除去(qù)細小(xiǎo)的(de)矽塵和(hé)金(jī®£n)屬雜(zá)質。

出鼓泡塔，除去(qù)了(le)固态雜(z§®✔á)質的(de)冷(lěng)卻汽氣混合氣，壓力為(wèi)0.2～0.25MPa，溫度為(wèi)50～90℃，被送入汽氣混合氣分(fēn)σ∞¶♥離(lí)系統（CDI-3）。在該系統內(nèi)，汽氣混合氣中的(de)氯矽烷被冷(lěnγ↑¶g)凝分(fēn)離(lí)出來(lái∏>♠)，送入三氯氫矽儲槽，然後被送往三氯氫矽提純工(gōng)序粗精餾≤≠₹部分(fēn)的(de)一(yī)級精餾塔。同時(shí)，氫氣和(hé>±)氯化(huà)氫氣體(tǐ)也(yě)從(c♣♠"♠óng)CDI-3系統中分(fēn)離(lí)出來(l¶♥ ái)，兩種氣體(tǐ)分(fēn)别被送回氯化(huà)氫合成工($&>∏gōng)序的(de)氫氣緩沖罐和(hé)氯化(hu​'γλà)氫緩沖罐，循環用(yòng)于氯化(huà)氫合成和&δ(hé)三氯氫矽合成。

鼓泡塔底引出的(de)含四氯化(huà)矽、三氯氫矽、聚氯矽烷§☆λ、矽渣和(hé)其他(tā)雜(zá)質的(de)液體(tǐ)，被泵送至≠↕α☆三氯氫矽提純工(gōng)序粗精餾部分(fēn)六級精餾塔。

貯存于四氯化(huà)矽儲槽的(de)四氯化(huàσ÷α)矽，由泵送至濕氫處理(lǐ)塔和(hé)鼓×λ€泡塔頂，用(yòng)作(zuò)濕法除塵的(d¥₹®↔e)洗滌液。

（3）提純工(gōng)藝中的(de)廢氣處理(lǐ δσ)

三氯氫矽提純工(gōng)序各精餾塔頂排放(fàng)的(de)含氯矽烷、氮氣的‍☆©(de)廢氣，及含氯矽烷、氫氣、氮氣、氯化(h§¥αuà)氫的(de)多(duō)晶矽還(hái)原爐置換吹掃氣和(hé)≠↓多(duō)晶矽還(hái)原爐事(shì)故排放(fà'♣←σng)氣，被送進尾氣洗滌塔，用(yòng)10%石灰水(shuǐ)洗滌，廢氣中的(↓♥‍↔de)氯矽烷和(hé)氯化(huà)氫與石灰水(shuǐ)中的(de)CaO​§÷發生(shēng)以下(xià)反應而被除去(qù)：

出塔底洗滌液用(yòng)泵送入帶攪拌的(de)石灰漿液槽，随後用(y©λ←¥òng)泵送回尾氣洗滌塔頂循環使用(yòng)。當槽內(nèi)的(de)石灰漿<±↓Ω濃度下(xià)降至2%時(shí)，将含有(yǒu)CaCl2、Caε≠SiO3和(hé)未反應CaO的(de)部分(fēn)液體(tǐ)抽出送往§♦工(gōng)藝廢料處理(lǐ)工(gōng)序處理(lǐ)，随即向槽內φ↑♠σ(nèi)補充新鮮石灰漿。

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