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矽烷廢氣處理(lǐ)方式及工(gōng)藝流程詳解

文(wén)章(zhāng)出處：原創網責任編輯：蔡作(zuò)者：蔡人(rén)氣：-發表時(shí)間(jiān)：2024-01-23 00:00:♥‍₩00【大(dà) 中小(xiǎo)】

半導體(tǐ)工(gōng)業(yè)的(de)迅速發展，矽烷氣體(tǐ)作(zuò↕απ)為(wèi)半導體(tǐ)生(shēng® π‌)産過程中的(de)重要(yào)廢氣已經引起€✘☆了(le)極大(dà)的(de)關注。矽烷氣體(tǐ)具有(yǒu)高β♠>≥(gāo)度的(de)毒性和(hé)易燃性，對(duì)人(rén)體(tǐ)和(hé)環境都(♦→dōu)造成了(le)很(hěn)大(dà)的(de)危害。因此，對(duì)矽烷 π氣體(tǐ)的(de)處理(lǐ)變得(de)越來(lái)越重要(yào)。昆山(shān)鑫藍(lán)環保将詳細介紹矽烷廢氣處理(lǐ)的(de)方式和(hé)工(gōng)藝流程，為(wèi)相(xiànΩ≈×g)關企業(yè)提供一(yī)些(xiē)參考。

一(yī)、矽烷氣體(tǐ)的(de)危害

矽烷是(shì)一(yī)種無色、有(yǒu)刺激性氣味的(de)氣體(tǐ)，常用(∞£yòng)于半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)中的(de)化(huà)學氣相(xiàng)沉φπΩ積（CVD）和(hé)物(wù)理(lǐ)氣相(xiàng)沉積（PVD）過程中。矽烷氣體(tǐ)具有(yǒu)高(gāo)度的(deΩ₹§δ)毒性和(hé)易燃性，對(duì)人(rén)體(tǐ)和(π₩hé)環境都(dōu)造成了(le)很(hě€≠n)大(dà)的(de)危害。矽烷氣體(tǐ)可(kě)以對(d↔ Ωuì)人(rén)體(tǐ)的(de)呼吸系統、眼睛、皮膚等造成刺δ∑激和(hé)損傷，長(cháng)期接觸還(hái)可(kě)能σ ↓∞(néng)導緻肺癌等嚴重疾病。同時(shí)，矽烷氣體•λ ✔(tǐ)還(hái)可(kě)以與空(kōng)氣中的(de)氧氣反應，産生÷↑₽•(shēng)易燃的(de)二氧化(huà©δ)矽和(hé)水(shuǐ)蒸氣，一(yī)旦遇到(dào)火(huǒ)源就(jiù)Ω↓₹會(huì)發生(shēng)爆炸。

二、矽烷氣體(tǐ)的(de)處理(lǐ)方式

1.煙(yān)囪排放(fàng)法

煙(yān)囪排放(fàng)法是(shì)矽烷氣體(←¥×₩tǐ)處理(lǐ)的(de)一(yī)種傳統方法。該方法通βε≥(tōng)過在工(gōng)廠(chǎng)的(de)煙(y '→πān)囪頂部設置過濾器(qì)和(hé)噴淋裝置，将矽烷氣體(tǐ)排∞±放(fàng)到(dào)大(dà)氣中。但(dàn)這→÷(zhè)種方法存在排放(fàng)污染問(wèn)題，會(huì)對(duì‌¥)周圍環境造成嚴重的(de)污染。

2.吸附法

吸附法是(shì)一(yī)種常用(yòng)的(de)矽烷氣體(tǐ)處理(lǐ£≥$)方式。該方法通(tōng)過在矽烷氣體(tǐ)排放('$✔fàng)口設置吸附裝置，利用(yòng)吸附劑吸附矽烷氣體(tǐ←α)，使其轉化(huà)為(wèi)固體(tǐ)或液體(tǐ)廢物(wù)，減少(shǎo)對× φ(duì)環境的(de)影(yǐng)響。吸附劑通(tōng)常采用(yòng)活性炭、分δ£♥(fēn)子(zǐ)篩等材料，吸附後的(de)廢物(wù)可(kě)以通(tōng)✔λ•<過再生(shēng)或處理(lǐ)後回收利用(yòn←σα≤g)。

3.燃燒法

燃燒法是(shì)一(yī)種将矽烷氣體(tǐ)轉化(huà§™ )為(wèi)二氧化(huà)矽和(hé)水(shuǐ)蒸氣的(de)處★<ελ理(lǐ)方法。該方法通(tōng)過在排放(fàng)口設置燃燒裝置，将矽烷®§$¥氣體(tǐ)燃燒成無害的(de)物(wù)質。但(dàn)是(shì)，該方法需要(yào‌₹∏)消耗大(dà)量的(de)能(néng)源，會(huì)對(duì)環境産生(shēng)↔γ一(yī)定的(de)二氧化(huà)碳排放(fàng)。

三、矽烷廢氣處理(lǐ)的(de)工(gōng)藝流程

矽烷氣體(tǐ)在半導體(tǐ)生(shēng)産過程中産生(shēng)後，首先需要(yà✘‌α o)通(tōng)過管道(dào)等方式将其收集到(dào)處理(lǐ¶φ♣®)設備中。

收集到(dào)的(de)矽烷氣體(tǐ)中通(tōng)常含有(yǒu©∑)一(yī)定的(de)雜(zá)質，需要(yào)通(ε≤§tōng)過淨化(huà)處理(lǐ)将其純化(hu•∞à)。淨化(huà)方法包括過濾、吸附等。

淨化(huà)後的(de)矽烷氣體(tǐ)需要(yào)進一(yī)步轉化(huà)處理(lǐ)' ε，以減少(shǎo)其對(duì)環境的(de)影(yǐng)響¶ Ω←。轉化(huà)方法包括燃燒、催化(huà)氧 ₹β化(huà)等。

經過上(shàng)述處理(lǐ)後，矽烷氣體(tǐ)已¥©∑經轉化(huà)為(wèi)無害的(de)物(wù€ σ)質，可(kě)以通(tōng)過煙(yān)囪等方式排放(fàng)到(dào)σ™§大(dà)氣中。

鑫藍環保科技（昆山）有限公司多(duō)年(nián)來(lái)專注于矽烷廢氣處理(lǐ)設計(jì)、制(zhì)造和(hé)安裝。我們産品有(yǒu)RTO蓄熱(rè)焚燒、RCO蓄熱(rè)催化(huà)燃燒、CO催化(huà)燃燒、TO直燃爐、有(yǒu)機(jī)廢氣處理(lǐ)設備、冷(lěng)凝回收、防爆除塵器(qì)、酸堿廢氣處理(lǐ)、濾筒除塵器(qì≠β✘♥)、布袋除塵器(qì)、單機(jī)除塵器(qì)、倉頂除塵器(qì)、旋風(fΩ★∑←ēng)除塵器(qì)、噴淋塔、活性炭吸附箱、靜(jìng)電(diàn)除油設備等。