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随著(zhe)發展,目前市(shì)場(chǎng)上↕∞¥(shàng)新材料行(xíng)業(yè)與∞¶β傳統材料相(xiàng)比,其應用(yòng)範圍更廣∞✘©→了(le),新材料産業(yè)的(de)研究↕☆與開(kāi)發成本高(gāo),産品的(de)附加值高(gāo)在生(shēng)産與市(s₩₹£σhì)場(chǎng)性強,而且新材料半導體(tǐ)行(xíλβng)業(yè)的(de)發展前景好(hǎo)。而新材料半導體(tǐ)行(xíng)★←§÷業(yè)在加工(gōng)的(de)過程中采用(yòng)清洗劑、顯影(yǐng)劑、光(g≈§≠¶uāng)刻膠、蝕刻液等溶劑,這(zhè)些(xiē)溶劑中含有(yǒu)大(dà)量的( £de)有(yǒu)機(jī)物(wù)成分(fēn),在整個(gè× γ)工(gōng)藝加工(gōng)的(de)過程中将會(huì)有(yǒu'↕♠δ)部分(fēn)的(de)有(yǒu)機(jī)溶劑大(dà)部分(fēn)通(tōng)過揮發成π£♥♦為(wèi)廢氣排放(fàng),這(zhè)部分(fēn)揮發的(de)廢氣主要(yà¥αo)成分(fēn)為(wèi)具有(yǒu)揮發性的(de)VOCs,下(xià)面鑫藍環保科技(昆山)有限公司講解一(yī)下(xià)關于:新材料半導體(tǐ)廢氣處理(lǐ)。
新材料半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)廢≥¶§÷氣除了(le)含有(yǒu)VOCs以外(wài),還(hái)混有(yǒu)HCl、氨、HF等危險污染物(wù),鑫藍環保科技(昆山)有限公司采用(yòng)的(de)是(shì)RTO焚燒爐來(lái)處理(lǐ)新材料半導體(tǐ)廢氣:工(gōng)業(yè)廢氣中主要(yào)含有(yǒu)酸性氣體(tǐ)、★ β☆堿性氣體(tǐ)、有(yǒu)機(jī)廢氣和(hé)有(yǒu)D氣體(tǐ)四種,自(zì)身(shēn)具有(yǒu)的(de)溶解特性,半導體(t•<"ǐ)工(gōng)業(yè)的(de)氣體(tǐ)雖然排放(fàng)量大(dà),但(dà♥ n)是(shì)氣體(tǐ)的(de)濃度低(dī)₩。
RTO設備采用(yòng)的(de)是(shì)高(gāo)溫焚燒的(de)廢氣治理(lǐ)技(j∏φ ì)術(shù),升溫能(néng)源一(yī)般是(shì)電(diàn)和(hé)天然氣§±φ,其高(gāo)溫需高(gāo)達700度或者以上(shàng),雖然溫度需高(gāo)達700度✘∏'左右,但(dàn)是(shì)其實消耗的(de)能(néng)源并不(∑≠bù)多(duō),設備運行(xíng)期間(jiān)部分(fēn)的(de)熱≥≤®(rè)能(néng)是(shì)能(néng)夠回收♠α→¥重新利用(yòng)的(de),降低(dī)能(néng)量消耗的(de)同時(shí)αΩ★λ提高(gāo)了(le)廢氣分(fēn)子(zγπǐ)的(de)燃燒反應速率。
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