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電(diàn)子(zǐ)半導體(tǐ)廢氣處理(lǐ)應該用(yòng)什£‌™(shén)麽工(gōng)藝

文(wén)章(zhāng)出處：鑫藍(lán)環保鑫藍(lán)動态網責任編輯：蔡作(zuò)者：蔡人(rén)氣：-發表時(shí)間(jiān)：2023-02-04 00:00:00【大(dà) 中小(xiǎo)】

電(diàn)子(zǐ)半導體(tǐ)廢氣處理(lǐ)應該用(yòng)什(shén)麽工(gōng)藝？

當今是(shì)以半導體(tǐ)技(jì)術β≥(shù)為(wèi)核心的(de)信息時(shí)代，半導體(tǐ)在生(shēng)産¥↑♥的(de)過程中将會(huì)産生(shē÷★ng)大(dà)量的(de)有(yǒu)毒有(yǒu)害氣體(β"§tǐ)、有(yǒu)機(jī)和(hé)無機(jī)物(wù)等，那(nà)→♦₹電(diàn)子(zǐ)半導體(tǐ)廢氣處理(lǐ)用(yòng)什(shén)麽工(gōng)藝？

　　電(diàn)子(zǐ)半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)在生(shēng)★≥‍産時(shí)會(huì)使用(yòng)顯影(yǐng)劑、光(guāng)刻膠、清潔劑、蝕刻液₩©£等溶劑，而這(zhè)些(xiē)溶劑是(shì)含有(yǒu↕∞)大(dà)量的(de)有(yǒu)機(jī)物(wù)成分(fēn)。

　　工(gōng)業(yè)上(shàng)的(de)"↓≈有(yǒu)機(jī)廢氣處理(lǐ)常用£α↕(yòng)的(de)工(gōng)藝有(yǒu)：活性炭吸附法、酸堿中和(hé)法、燃燒法、催化(huà)燃燒法、吸收法、×α∏冷(lěng)凝法等。

　　目前，電(diàn)子(zǐ)半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)的£$<(de)廢氣采用(yòng)吸附、焚燒兩者相(xiàng)結合的(de)廢氣處理(→↕lǐ)方法。

　　活性炭吸附：其原理(lǐ)是(shì)利用(yòng)多(duō)孔"♦ε★性固體(tǐ)吸附劑處理(lǐ)混合氣體(tǐ)，使廢氣中的(de)氣體(tǐ)成✔γ 分(fēn)吸附在固體(tǐ)表面以達到(dào)分(fēn•∏$)離(lí)的(de)目的(de)，該廢氣處理(lǐ)設備能(néng)夠有(yǒu)效地(dì)去(qù)除濃度很(hěn)低(dī)的(de)有(yǒu)害物(wù)☆¥®質，淨化(huà)效率高(gāo)，設備操作(zuò)方便。

　　焚燒：焚燒的(de)原理(lǐ)是(s♠¥hì)在熱(rè)氧化(huà)中，有(yǒu)機(jī)✔¥δ廢氣流經過加熱(rè)，氣相(xiàng)中的(de)有(yǒu)機(jī)物(wù)被↑δ₹↓氧化(huà)，将有(yǒu)機(jī)物(wù)C02和(hé)H20，通(tōng)常是(shì)用(yòng)于流量穩定的(de)、低(dφ> •ī)濃度的(de)氣體(tǐ)。

因電(diàn)子(zǐ)半導體(tǐ)焚燒的(de)過程中會(huì)産生(sh"✔©σēng)Si02，而Si02會(huì)使催化(huà)劑鈍λ∏β化(huà)，所以在市(shì)場(chǎng)上(shàng)電(diàn)子(zǐ)半導¶∞ £體(tǐ)是(shì)很(hěn)少(s£∏↔hǎo)用(yòng)到(dào)接觸氧化(huà)的(de)方法。

鑫藍環保科技（昆山）有限公司，專注于大(dà)型工(gōng)廠(chǎng)廢氣處理(lǐ©&≤)、粉塵處理(lǐ)，是(shì)一(yī)家(jiā)集廢氣粉塵處理(lǐ)系統設計(jì)、制(zhì)造與銷售為(wèi)一(yī)體(tǐ)的(d↑e)生(shēng)産廠(chǎng)家(jiā)。主營産品有(yǒu)RTO蓄熱(rè)焚燒、RCO催化(huà)燃燒、有(yǒu)機(jī)廢氣處理(lǐ)設備、防爆除塵器(qì)、¶↓ε&酸堿廢氣處理(lǐ)設備、濾筒除塵器(qì)、布袋除塵器(qì)、單機(jī)除塵器(qì)、倉頂除塵器(qì)、旋風(fēng)除塵器(qì)、噴淋塔、活性炭吸附箱、靜(jìng)電(diàn)除油設備等等。